Reinraum

Ein Reinraum ist ein kontrollierter Innenraum, in dem extrem niedrige Konzentrationen von Schwebeteilchen und Verunreinigungen aufrechterhalten werden. Diese Räume sind für Branchen unverzichtbar, die hochempfindliche Geräte herstellen, etwa Mikroprozessoren, sowie für die Pharmaindustrie und die Herstellung medizinischer Geräte, da selbst mikroskopisch kleine Staubpartikel die Produktqualität und Sicherheit beeinträchtigen können.

Um Verunreinigungen zu minimieren, verwenden Reinräume hocheffiziente Schwebstofffilter (HEPA) oder Filter mit sehr geringer Partikeldurchlässigkeit (ULPA), die die Luft kontinuierlich umwälzen und reinigen. Häufig kommen ausgeklügelte Luftstromkonzepte zum Einsatz, die gereinigte Luft in einem gleichmäßigen, einheitlich gerichteten Strom führen und so verhindern, dass sich Partikel auf Oberflächen oder Produkten ablagern. Reinräume regeln außerdem Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Luftdruck, um optimale Bedingungen aufrechtzuerhalten und das Risiko von Beeinträchtigungen der Produktionsprozesse zu verringern. Überwachungssysteme prüfen kontinuierlich die Partikelkonzentration, Temperatur und andere Parameter, um sicherzustellen, dass der Raum innerhalb der erforderlichen Grenzwerte bleibt.

Das Personal in Reinräumen muss spezielle Schutzkleidung tragen, die häufig als „Bunny Suits“ bezeichnet wird und den gesamten Körper bedeckt, damit keine Verunreinigungen in die Umgebung gelangen. Diese Anzüge ähneln Raumanzügen, sind jedoch leicht und so gestaltet, dass sie in der kontrollierten Umgebung Bewegungsfreiheit ermöglichen.

Reinraumklassen

Reinräume werden nach internationalen Standards klassifiziert, beispielsweise nach dem Standard ISO 14644-1, der die maximal zulässige Partikelanzahl für verschiedene Partikelgrößen festlegt. So darf ein Reinraum der ISO-Klasse 6 (Federal-Standard-Klasse 1000) bis zu 1.000 Partikel mit einer Größe von mehr als 0,5 Mikrometern pro Kubikfuß Luft enthalten. Ein Reinraum der ISO-Klasse 5 (Federal-Standard-Klasse 100) darf höchstens 100 solcher Partikel enthalten. Für die Herstellung der meisten CPUs ist Klasse 6 oder höher erforderlich.

NOTE: Reinräume werden auch als „saubere Räume“ bezeichnet.