クリーンルーム

クリーンルームとは、空気中の粒子や汚染物質を極めて低いレベルに保つ、管理された屋内空間です。これらの部屋は、マイクロプロセッサ、医薬品、医療機器など、非常にデリケートな製品を製造する業界に欠かせません。微小なほこりの粒子でさえ、製品の品質や安全性を損なう可能性があるためです。

汚染を最小限に抑えるため、クリーンルームでは、高効率微粒子空気（HEPA）フィルターや超低透過率空気（ULPA）フィルターを使用し、空気を継続的に循環させて浄化します。また、浄化された空気を一定の一方向の流れで送り、粒子が表面や製品に付着するのを防ぐ、高度な空気流設計を採用することもあります。さらに、クリーンルームでは温度、湿度、気圧を調整して最適な条件を維持し、製造工程が妨げられるリスクを減らします。監視システムは、部屋が必要な範囲内に保たれていることを確認するため、粒子の量、温度、その他のパラメーターを継続的に測定します。

クリーンルーム内の作業員は、汚染物質が環境に入るのを防ぐため、全身を覆う、通常「バニースーツ」と呼ばれる専用の防護服を着用する必要があります。これらの防護服は宇宙服に似ていますが、軽量で、管理された環境内でも動きやすいように設計されています。

クリーンルームの分類

クリーンルームは、さまざまな粒径について許容される最大粒子数を定めたISO 14644-1規格など、国際規格に基づいて分類されます。たとえば、ISOクラス6のクリーンルーム（米国連邦規格クラス1000）では、空気1立方フィート当たり、0.5ミクロンを超える粒子を最大1,000個まで許容します。ISOクラス5のクリーンルーム（米国連邦規格クラス100）では、このような粒子は100個以下しか許容されません。ほとんどのCPUの製造には、クラス6以上が必要です。

NOTE: クリーンルームは「clean rooms」と呼ばれることもあります。[/n]